电容式传感器的灵敏度与非线性误差

有关电容式传感器的灵敏度与非线性误差，单级变隙电容的相对变化量，要提高灵敏度，应减小d0，但非线性误差却增大，不了解的朋友参考下。

电容式传感器的灵敏度

1、单级变隙电容的相对变化量：

2、非线性误差：

结论：要提高灵敏度，应减小d0，但非线性误差却增大。

3、差动式结构：

以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容式位移传感器。

电容传感器的形式很多，常使用变极距式电容传感器和变面积式电容传感器进行位移测量。